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納諾半導體

      合肥市納諾半導體有限公司于2021年7月成立于合肥高新區(qū)，由從美國硅谷歸國的領軍博士朱俊創(chuàng)建。公司集聚了世界一流人才，針對西方對半導體檢測設備的技術封鎖，自主研發(fā)7nm圖形晶圓暗場缺陷檢測DUVDFI設備，產(chǎn)品對標KLAVoyager1015和1035.納諾半導體助力中國半導體產(chǎn)業(yè)解決西方“卡脖子”難題，研發(fā)水平世界先進，產(chǎn)品填補國內技術空白。

      公司投入四年時間和超億元研發(fā)資金，成功研發(fā)了DF70和DF80兩款DUV圖形晶圓暗場缺陷檢測產(chǎn)品，DF70對標KLAPUMA9980.適用于2Xnm工藝制程;DF80對標KLAVoyager1015產(chǎn)品，適用于7nm與1Xnm的先進工藝制程。研發(fā)團隊在多個領域突破了諸多的技術難題，實現(xiàn)了關鍵零部件的國產(chǎn)化，設備產(chǎn)品已進入客戶樣片的DEMO階段。

      公司還在同步研發(fā)裸硅片缺陷檢測設備SS100.對標KLASP7產(chǎn)品，產(chǎn)品適用于7nm先進制程工藝良率控制，計劃在2025年底前進入客戶樣片DEMO階段。