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      中科納微真空科技(合肥)有限公司由中國科學(xué)院合肥物質(zhì)研究院和合肥工業(yè)大學(xué)的一批博士、碩士及科研人員聯(lián)合組建，專注于真空組件及真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與集成。產(chǎn)品系列涵蓋旋轉(zhuǎn)陰極端頭、磁棒、平面陰極、濺射槍及遠(yuǎn)程等離子清洗設(shè)備等，已成功批量應(yīng)用于光伏、節(jié)能玻璃、集成電路、鋰電池等行業(yè)的龍頭企業(yè)，實(shí)現(xiàn)了進(jìn)口替代。經(jīng)過兩年的快速發(fā)展，公司已成為全球最大的磁控濺射組件供應(yīng)商之一。

      公司現(xiàn)擁有4000㎡生產(chǎn)工廠、凈化車間及研發(fā)中心，配備完善的生產(chǎn)管理體系與實(shí)驗(yàn)、檢測(cè)平臺(tái)，32000㎡的真空組件產(chǎn)業(yè)園正在籌建中，預(yù)計(jì)建成后將進(jìn)一步提升公司的創(chuàng)新能力，助力產(chǎn)業(yè)發(fā)展。